在玻璃基板制造行业中，超纯水通常被广泛用于清洁和处理工艺。该设备也称为连续电去离子装置，简称EDI。杂质一般来说，超纯水在玻璃基板行业的应用需要达到以下标准：
电导率要求：电导率是衡量水质纯度的重要指标之一。对于玻璃基板行业来说，电导率必须非常低，一般在1—10μS/cm的范围内。
微生物的限制：由于玻璃基材对杂质非常敏感，因此要求超纯水中的微生物含量极低，一般要求不含细菌和有害微生物。
化学成分限制：不能含有对玻璃基板有害的化学成分，如重金属、有机物、溶解固体等。
颗粒物限制：在玻璃基板上留下颗粒或污渍的微小颗粒物不会留下。
pH值要求：超纯水的pH值通常要求为中性（接近7），不会对玻璃基板表面造成腐蚀或其他不良影响。
溶解氧含量要求：对于特定的工艺要求，超纯水中的溶解氧含量需要很低，以避免玻璃基板表面发生氧化反应。
纯度要求：超纯水要经过多次过滤、离子交换等净化步骤，以确保满足玻璃基板生产过程中的高纯度要求。
BOD（Biochemical Oxygen Demand的简写）：生化需氧量或生化耗氧量(一般指五日生化学需氧量)，表示水中有机物等需氧污染物质含量的一个综合指示。说明水中有机物由于微生物的生化作用进行氧化分解，使之无机化或气体化时所消耗水中溶解氧的总数量。 解氧瓶中，在
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