超纯水设备通常由多个关键部件和配件组成，这些组件协同工作生产高纯度水。设备采用预处理、反渗透技术、超纯化处理以及后级处理等方法，超纯水设备将水中的导电介质几乎完全去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水处理设备。

1.预处理系统： 超纯水设备通常包括一系列预处理设备，如反渗透膜、混床离子交换树脂、砂滤器和活性炭滤器。这些设备用于去除水中的离子、溶解物、颗粒和有机物。

2.反渗透膜： 反渗透膜是超纯水设备中的核心组件，分离水中的溶质、微生物和有机物。这些膜具有非常小的孔隙，可以过滤掉大多数物质，只允许水分子通过。

3.混床离子交换树脂： 混床树脂用于进一步去除水中的离子，产生极高纯度的水。它通常包括阳离子交换树脂和阴离子交换树脂。

4.EDI（电去离子）模块： EDI模块是用于去除水中离子的电化学设备，生成超纯水。它通常包括膜电极和离子选择性膜。

5.储水罐： 储水罐用于储存纯水，满足不同应用的需求。这些储水罐通常具有适当的材质，以防止再污染水。

6.监测和控制系统： 超纯水设备通常配备监测和控制系统，用于监测水质、温度、压力和流量等参数，并确保设备的正常运行。

7.消毒系统： 消毒设备如紫外线灯或氯消毒系统可用于确保输送到使用点的水不受细菌和病毒污染。

8.管道和阀门： 管道和阀门用于将处理后的水传输到目标用途的地方，控制流量和分配。

9.滤芯和滤材： 滤芯和滤材用于在系统中进一步去除微小颗粒和杂质。

10.清洗和维护设备： 包括清洗系统、化学清洗剂和工具，维护和清洗超纯水设备的组件。

11.仪表和传感器： 监测和控制水质和设备操作的仪表和传感器。

12.管道连接件： 连接和安装设备的管道、接头和配件。