液晶面板制造的前段Array制程主要是薄膜、黄光、蚀刻、剥膜四大部分。液晶面板生产大约50%以上工序中硅片与超纯水直接接触,有80%以上工序需要进行化学处理,而化学处理又与超纯水有密切关系,并且直接与工件接触,如果水质不纯,就会导致器件性能下降,影响产品性能,进而影响了产品的良率,因此,超纯水的品质对液晶面板发展有很大影响
1.超纯水的重要性
在液晶面板生产过程中,大约50%以上的工序涉及到硅片与超纯水的直接接触,而80%以上的工序需要进行化学处理。这些工序中的任何污染都可能造成产品缺陷,影响显示质量和使用寿命。因此,超纯水的水质直接决定了液晶面板的最终质量。
2.水质要求
根据液晶面板的不同要求,超纯水需要达到不同的电阻率标准,如10兆欧、15兆欧和18.25兆欧等,这些标准确保水中的杂质被降到最低。尤其是现代液晶面板生产对水质的要求越来越高,以适应越来越精细的生产工艺。
3.制备技术
超纯水的制备通常采用多级水处理技术,包括反渗透(RO)、离子交换、紫外线杀菌和超滤等。这些技术结合使用,能够有效去除水中的离子、有机物及微生物,确保水质达到液晶面板生产的极高标准。
4.影响因素
超纯水中的微量杂质如硅、铁、钙等,即使在微小的浓度下,也能对液晶面板的性能产生负面影响。因此,生产过程中对超纯水的持续监测和控制是必要的。此外,水温、pH值等参数也对水质有显著影响,必须严格控制。
半导体芯片用水主要在于前端晶棒硅切片冷却用水,基板晶圆片检测清洗用水,中段晶圆片溅镀、曝光、电镀、光刻、腐蚀等工艺清洗,后段检测封装清洗。
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了解详情作为电解液的重要成分,水在电池中起着至关重要的作用,一般情况下的水中含有钙镁离子,固体颗粒、胶状物质等导电物质,会缩短蓄电池的使用寿命,也不符合国家有关电池用水的标准规范,所以需要水质高的超纯水作为电池电解液。
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